人工晶体学报 ›› 2021, Vol. 50 ›› Issue (2): 248-252.
曾宪林, 陈伟, 张星, 陈秋华
收稿日期:
2020-11-04
发布日期:
2021-03-24
作者简介:
曾宪林(1979—),男,江西省人,工程师。E-mail:zengxianlin@castech.com
ZENG Xianlin, CHEN Wei, ZHANG Xing, CHEN Qiuhua
Received:
2020-11-04
Published:
2021-03-24
摘要: 本文报道了在自动控制直径条件下大尺寸YVO4晶体的提拉法生长研究。利用改进的上称重法生长大尺寸YVO4晶体,在提拉法单晶生长过程中,晶体扩肩部分采用斜率积分模式,转肩部分采用斜率积分过渡到直径积分模式,等径部分采用直径积分模式,应用这种分段控制方式成功地实现了YVO4晶体的自动化生长。采用4台50型自动化生长炉对YVO4晶体自动化生长工艺进行了长达一年的可靠性验证,预设技术目标为晶体直径大于40 mm,等径部分长度大于30 mm,B级晶体质量达 80%以上,采用自动控制方法生长晶体毛坯共计138个,晶体直径达标率为99.3%,等径部分长度达标率为53.6%,晶体生长良品率为88.4%。本文还讨论了影响晶体等径部分长度达标率的若干工艺因素。
中图分类号:
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