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沉积压力对磁控溅射纳米硅薄膜结构和性能影响
于军;王晓晶;雷青松;彭刚;徐玮
Effects of Deposition Pressure on Nanocrystalline Silicon Thin Film by Magnetron Sputtering
YU Jun;WANG Xiao-jing;LEI Qing-song;PENG gang;XU Wei
人工晶体学报 . 2009, (3): 556 -560 . 

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