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Si基上电沉积Cu薄膜的形貌与择优取向
张雅婷;徐章程;李菲晖
Morphology and Preferential Orientation of Electro-deposited Cu/Si Thin Films
ZHANG Ya-ting;XU Zhang-cheng;LI Fei-hui
人工晶体学报 . 2006, (
4
): 728 -731 .