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有限元分析薄膜/基底在纳米压痕过程中的力学性能
王晓宇;王金良;彭洪勇
Finite Element Analysis on the Mechanical Properties of the Film/Substrate System in the Process of Nanoindentation
WANG Xiao-yu;WANG Jin-liang;PENG Hong-yong
人工晶体学报 . 2014, (
2
): 327 -332 .