摘要： 运用有限元程序ABAQUS/Standard,建立了纳米压痕的有限元模型,并对一般薄膜/基底体系进行了数值模拟.结果表明:在压入相同深度时,薄膜的厚度越大,卸载后的残余深度越浅.薄膜的厚度越大,基底对薄膜的影响越小.对于同一厚度薄膜在不同最大压痕深度时,残余深度和基底的内应力会随着最大压痕深度的增加而增大.最后,采用前面论述的薄膜/基底体系,利用有限元方法模拟不同弹性模量对纳米压痕的影响,并将模拟结果和实验结果进行了对比.
中图分类号:
王晓宇;王金良;彭洪勇. 有限元分析薄膜/基底在纳米压痕过程中的力学性能[J]. 人工晶体学报, 2014, 43(2): 327-332.
WANG Xiao-yu;WANG Jin-liang;PENG Hong-yong. Finite Element Analysis on the Mechanical Properties of the Film/Substrate System in the Process of Nanoindentation[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2014, 43(2): 327-332.
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