欢迎访问《人工晶体学报》官方网站，今天是 2025年9月20日 星期六
E-mail Alert　 RSS
分享到：
湿法刻蚀腔室结构数值优化
王伟;向东;杨为;夏焕雄;张瀚
Numerical Optimization of a Chamber Structure Design for the Wet Etching
WANG Wei;XIANG Dong;YANG Wei;XIA Huan-xiong;ZHANG Han
人工晶体学报 . 2014, (5): 1110 -1114 . 

网站版权 © 《人工晶体学报》编辑部
地址：北京市朝阳区东坝红松园1号　邮编：100018
电话：010-65491290　 Email：jtxbbjb@126.com
本系统由北京玛格泰克科技发展有限公司设计开发　技术支持：support@magtech.com.cn