湿法刻蚀腔室结构数值优化

人工晶体学报 ›› 2014, Vol. 43 ›› Issue (5): 1110-1114.

湿法刻蚀腔室结构数值优化

王伟;向东;杨为;夏焕雄;张瀚

重庆大学机械传动国家重点实验室,重庆,400044;清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084

出版日期:2014-05-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家科技重大专项(2011Z02403-004)

Numerical Optimization of a Chamber Structure Design for the Wet Etching

WANG Wei;XIANG Dong;YANG Wei;XIA Huan-xiong;ZHANG Han

Online:2014-05-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 为确定某种新型刻蚀机最优的晶圆与喷淋头间距(Gap),通过CFD仿真分析气体在不同Gap腔室内的物质输运分布,并结合乙醇环境下HF酸刻蚀SiO2工艺的物理化学过程,建立了刻蚀速率估算公式,以此分析了不同Gap腔室的刻蚀速率及刻蚀均匀性,最终获得了具有最佳刻蚀效果的腔室结构.研究分析表明:Gap较小时晶圆中心刻蚀速率偏高,Gap较大时晶圆边缘刻蚀速率偏高;平均刻蚀速率随着Gap的增大逐渐降低,而刻蚀不均匀度随Gap增大先减小后增大,在Gap取值70 mm时刻蚀均匀性最佳且刻蚀速率较高.

中图分类号:

TN305

王伟;向东;杨为;夏焕雄;张瀚. 湿法刻蚀腔室结构数值优化[J]. 人工晶体学报, 2014, 43(5): 1110-1114.

WANG Wei;XIANG Dong;YANG Wei;XIA Huan-xiong;ZHANG Han. Numerical Optimization of a Chamber Structure Design for the Wet Etching[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2014, 43(5): 1110-1114.

[1]	安康, 许光宇, 吴海平, 张亚琛, 张永康, 李利军, 李鸿, 张旭芳, 刘峰斌, 李成明. 金刚石化学机械抛光研究进展[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(10): 1675-1687.
[2]	陈峰武, 吕文利, 龚欣, 薛勇, 巩小亮. 分子束外延设备国内外进展及展望[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(9): 1494-1503.
[3]	谢贵久, 张文斌, 王岩, 宋振, 张兵. 碳化硅晶片减薄工艺对表面损伤的影响[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(6): 967-972.
[4]	初学峰, 黄林茂, 张祺, 谢意含, 胡小军. 铟锡氧(ITO)和氟锡氧(FTO)透明导电薄膜的表征与分析[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(5): 848-854.
[5]	鲁雪松, 王万堂, 王蓉, 杨德仁, 皮孝东. 半导体碳化硅衬底的湿法氧化[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(2): 181-193.
[6]	王维, 黄鸣, 常晓鱼, 张昊, 吴奇, 龙连春. 改进型单晶炉提拉系统偏心平衡研究[J]. 人工晶体学报, 2021, 50(9): 1774-1779.
[7]	王硕, 杨发顺, 马奎. 多次热氧化削减硅通孔内壁扇贝纹[J]. 人工晶体学报, 2021, 50(6): 1131-1137.
[8]	柯海鹏, 欧雪雯, 柯少颖. He离子注入对Ge中缺陷行为的影响研究[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(12): 2244-2251.
[9]	马睿;王建彬;周超群;童勇强;徐义亮. 腐蚀法测量研磨蓝宝石亚表面损伤的实验研究[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(12): 2216-2221.
[10]	陈国美;倪自丰;钱善华;刘远祥;杜春宽;周凌;徐伊岑;赵永武. SiC晶片不同晶面的CMP抛光效果对比研究[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(1): 155-159.
[11]	汪已琳;任哲;赵志然;张威. 减压扩散高阻密栅技术应用研究[J]. 人工晶体学报, 2018, 47(12): 2659-2662.
[12]	杨超普;方文卿;杨岚;刘彦峰;李春;阳帆;韩茜;张美丽. MOCVD外延生长原位光致发光谱测量方法[J]. 人工晶体学报, 2018, 47(11): 2316-2321.
[13]	郭丽;武纹平;陈丽. 管式PECVD氮化硅薄膜不同退火环境的工艺研究[J]. 人工晶体学报, 2018, 47(1): 231-234.
[14]	魏也;周兵;桑胜波;邓宵;柴晶;陈泽华;张文栋. 粒子束注入单晶硅尺寸效应的机理研究[J]. 人工晶体学报, 2017, 46(6): 1064-1071.
[15]	刘春梅;王洋;吴元庆;张金晶;姚素英;陆晓东;周涛. 应用于生物荧光检测的微流控芯片的研究[J]. 人工晶体学报, 2017, 46(6): 1160-1165.