氩气流速对400 mm大直径磁场直拉单晶硅固液界面、热应力及氧含量的影响

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李进;张洪岩;高忙忙;周锐;薛子文;梁森;李国龙;李海波;何力军

Influence of Argon Flow Rate on the Solid/Liquid Interface, Thermal Stress and Oxygen Concentration in the 400 mm CZ Silicon with a Magnetic Field

人工晶体学报 . 2014, (5): 1193 -1198 .