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2025年9月18日 星期四
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多晶硅炉氩气导流系统设计与数值模拟优化
苏文佳;左然;程晓农;狄晨莹
Design and Numerical Optimization of Ar Flow Guiding System in Polysilicon Furnace
SU Wen-jia;ZUO Ran;CHENG Xiao-nong;DI Chen-ying
人工晶体学报 . 2014, (
5
): 1236 -1242 .
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