多晶硅炉氩气导流系统设计与数值模拟优化

人工晶体学报 ›› 2014, Vol. 43 ›› Issue (5): 1236-1242.

多晶硅炉氩气导流系统设计与数值模拟优化

苏文佳;左然;程晓农;狄晨莹

江苏大学能源与动力工程学院,镇江212013;江苏大学材料科学与工程学院,镇江212013;江苏大学能源与动力工程学院,镇江,212013;江苏大学材料科学与工程学院,镇江,212013

出版日期:2014-05-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金青年基金(51206069);高等学校博士学科点专项科研基金(20123227120017);江苏省自然科学基金青年基金(BK2012295);江苏大学高级专业人才科研启动基金(1281130015);江苏省博士后科研资助计划(1301049C)

Design and Numerical Optimization of Ar Flow Guiding System in Polysilicon Furnace

SU Wen-jia;ZUO Ran;CHENG Xiao-nong;DI Chen-ying

Online:2014-05-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 在DSS法多晶硅生长中,为了降低氧碳含量,作者利用CGSim软件,分析了三种传统氩气导流系统的优缺点,以此为基础设计了一种中心和侧面双排气的新型导流系统,并对其进行了设计和数值模拟优化.模拟得出以下结论:多晶铸锭炉三种传统氩气导流系统中,石墨坩埚上部开大孔且有盖板时,有利于控制氧碳含量和固/液界面;新型多晶铸锭炉氩气导流系统中,中心氩气进口管伸入上盖板时,有利于降低多晶硅的氧碳含量;随着石墨坩埚上部开口高度h逐渐增大,中心出口氩气流速逐渐减小,侧面出口氩气流速增大,当h=20 mm时,有利于降低多晶硅的氧碳含量.研究结果为生长高质量的多晶硅提供了理论依据.

中图分类号:

TN304

苏文佳;左然;程晓农;狄晨莹. 多晶硅炉氩气导流系统设计与数值模拟优化[J]. 人工晶体学报, 2014, 43(5): 1236-1242.

SU Wen-jia;ZUO Ran;CHENG Xiao-nong;DI Chen-ying. Design and Numerical Optimization of Ar Flow Guiding System in Polysilicon Furnace[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2014, 43(5): 1236-1242.

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