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2025年9月18日 星期四
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射频磁控溅射低温制备ITO薄膜
王秀娟;司嘉乐;杨德林;谷锦华;卢景霄
Preparation of ITO Thin Films by RF Magnetron Sputtering at Low Temperature
WANG Xiu-juan;SI Jia-le;YANG De-lin;GU Jin-hua;LU Jing-xiao
人工晶体学报 . 2015, (
6
): 1516 -1522 .
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