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β-Ga2O3薄膜掺杂工艺及性能研究进展
张浩;邓金祥;白志英;潘志伟;孔乐
Research Progress on Doping Process and Properties of β-Ga2 O3 Thin Film
ZHANG Hao;DENG Jin-xiang;BAI Zhi-ying;PAN Zhi-wei;KONG Le
人工晶体学报 . 2017, (9): 1683 -1690 . 

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