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石墨衬底上铝诱导法制备多晶硅薄膜
魏立帅;陈诺夫;张航;王从杰;贺凯;白一鸣;陈吉堃
Preparation of Polycrystalline Silicon Thin Film by AIC on Graphite Substrate
WEI Li-shuai;CHEN Nuo-fu;ZHANG Hang;WANG Cong-jie;HE Kai;BAI Yi-ming;CHEN Ji-kun
人工晶体学报 . 2017, (9): 1709 -1713 . 

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