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多晶硅的反应离子刻蚀(R IE)制绒绒面研究
张婷;郭永刚;屈小勇;陈璐;王举亮
Research on Surface Texture of Multicrystalline Silicon by Reactive Ion Etching
ZHANG Ting;GUO Yong-gang;QU Xiao-yong;CHEN Lu;WANG Ju-liang
人工晶体学报 . 2017, (10): 2090 -2094 . 

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