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2025年5月14日 星期三
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自支撑氮化硅膜结构制备工艺优化
王付雄, 谢婉谊
Process Optimization for Fabrication of Self-Supporting Silicon Nitride Film Structure
WANG Fuxiong, XIE Wanyi
人工晶体学报 . 2020, (
12
): 2358 -2364 .
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