拉晶工艺参数对N型单晶硅氧含量的影响研究

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柴晨, 张军, 王玉龙, 韩庆辉, 李怀铭

Research on the Influence of Czochralski Process Parameters on Oxygen Content of N-Type Monocrystalline Silicon

CHAI Chen, ZHANG Jun, WANG Yulong, HAN Qinghui, LI Huaiming

人工晶体学报 . 2024, (5): 792 -802 .