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残余应力及电场对4H-SiC表面压痕硬度的影响
朱兴杰, 章平, 左敦稳
Effect of Residual Stress and Electric Field on Indentation Hardness of 4H-SiC Surface
ZHU Xingjie, ZHANG Ping, ZUO Dunwen
人工晶体学报 . 2025, (4): 560 -568 .  DOI: 10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2024.0255

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