钢缆直径对大尺寸直拉单晶硅生长稳定性的影响
朱丽涛, 刘磊, 原帅, 周声浪, 张华利, 汪晨, 高宇, 曹建伟, 余学功, 杨德仁
Effect of Cable Diameter on Growth Stability of Large-Size Czochralski Silicon Crystals
ZHU Litao, LIU Lei, YUAN Shuai, ZHOU Shenglang, ZHANG Huali, WANG Chen, GAO Yu, CAO Jianwei, YU Xuegong, YANG Deren
人工晶体学报
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2025, (6): 942
-948
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DOI: 10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2025.0027
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