CVD方法生长平面和曲面块状多晶硫化锌

人工晶体学报 ›› 2000, Vol. 29 ›› Issue (1): 30-33.

CVD方法生长平面和曲面块状多晶硫化锌

王和明;蔡以超;杨曜源;东燕萍;王永杰;闫泽武

人工晶体研究所,北京,100018

出版日期:2000-01-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
军品配套项目

Plane and Curve Surface Bulk Polycrystal ZnS Growth Using CVD

WANG He-ming;CAI Yi-chao;YANG Yiao-yuan;DONG Yan-pin;WANG Yong-jie;YAN Ze-wu

Online:2000-01-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用化学气相沉积方法成功地生长出硫化锌多晶红外光学材料.加工后的成品多晶硫化锌尺寸为直径150mm,厚度为6mm;既有曲面的整流罩,又有平面窗口,蒸镀多层防反膜.由于采用了自制的活性硫化氢为原料,以及较好的工艺生长条件,生长的硫化锌红外光学材料长波透射比达到理论值75;.镀多层防反膜以后,中、长红外波段透过率均有所提高,但镀膜技术还有待改进.文中对硫化锌的透过曲线进行了分析与比较,结果表明我们生长的硫化锌杂质较少,是红外透过率高的原因.文中还测试了硫化锌的其它主要性能.

中图分类号:

O782

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