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人工晶体学报 ›› 2000, Vol. 29 ›› Issue (4): 390-393.

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HFCVD金刚石膜的形貌对红外透射率的影响

宋贵宏;宫骏;孙超;黄荣芳;闻立时   

  1. 中国科学院金属研究所,沈阳,110015;沈阳工业大学材料工程系,沈阳,110026;中国科学院金属研究所,沈阳,110015
  • 出版日期:2000-04-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    中国科学院资助项目(59292800);辽宁省科技厅资助项目

Influence of the Morphology of Diamond Films by HFCVD on Its Infrared Transmission

SONG Gui-hong;GONG Jun;SUN Chao;HUANG Rong-fang;WEN Li-shi   

  • Online:2000-04-15 Published:2021-01-20

摘要: 本文测量HFCVD生长的金刚石膜的红外透射率.结果表明,膜中的缺陷、杂质和非金刚石相在透射谱中产生吸收带;膜表面的粗糙度和组织形貌对透射率有较大的影响.形核表面面对红外光源时,由于减少表面散射而透射率较高;定向或高取向膜的透射率高于混杂取向膜的透射率,表明晶格取向和晶界分布影响膜的透射性能.

关键词: 金刚石膜;热丝化学气相沉积;红外透射率;晶体形貌

中图分类号: