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摘要： 在用提拉法(Czochralski)生长钽酸锂(LiTaO3)、铌酸锂(LiNbO3)单晶的实践中,通过对上"浮秤”模拟体的优化设计,成功实现了扩肩工艺阶段的自动控制.
中图分类号:
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