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人工晶体学报 ›› 2003, Vol. 32 ›› Issue (6): 610-612.

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金刚石膜在Si(100)衬底上的选择沉积

常开朋;程文娟;江锦春;张阳;朱鹤孙;沈德忠   

  1. 清华大学化学系,功能晶体与薄膜研究所,北京,100084;清华大学化学系,功能晶体与薄膜研究所,北京,100084;清华大学光子与电子技术研究中心,北京,100084
  • 出版日期:2003-12-15 发布日期:2021-01-20

elective Deposition of Diamond Films on Si (100) Substrates

  • Online:2003-12-15 Published:2021-01-20

摘要: 采用自行设计的微波等离子体化学气相沉积系统,利用铜网作为模板实现了在Si(100)衬底上金刚石膜的选择沉积.用场发射扫描电子显微镜(SEM)、Raman散射谱对样品进行了表征与分析.并与同样生长条件下未采用模板时得到的金刚石样品进行了比较.结果发现,采用模板后,金刚石膜的成核密度和质量都得到很大提高.

关键词: 金刚石膜;Si(100)衬底;微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)

中图分类号: