人工晶体学报 ›› 2004, Vol. 33 ›› Issue (3): 305-309.
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孙军;孔勇发;李兵;张玲;刘士国;黄自恒;瓮松峰;舒永春;许京军
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摘要: 分析了提拉法晶体生长过程中影响滞后变化的因素,采用传统PID调节器和计算机辅助控制相结合的办法,解决了铌酸锂晶体生长过程中的精确等径控制问题,并在大直径铌酸锂晶体生长应用中取得了满意的效果.生长的76mm直径的铌酸锂晶体,生长条纹问题得到很大改善,光学均匀性提高了一个量级以上.
关键词: 等径控制;铌酸锂;晶体生长;光学级
中图分类号:
TP273
O782
孙军;孔勇发;李兵;张玲;刘士国;黄自恒;瓮松峰;舒永春;许京军. 等径控制系统的改进及在光学级铌酸锂生长中的应用[J]. 人工晶体学报, 2004, 33(3): 305-309.
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