同步辐射单色光形貌术观察6H-SiC单晶中的微管缺陷

人工晶体学报 ›› 2004, Vol. 33 ›› Issue (3): 332-334.

同步辐射单色光形貌术观察6H-SiC单晶中的微管缺陷

胡小波;徐现刚;李现祥;董捷;韩荣江;王丽;李娟;王继扬;田玉莲;黄万霞;朱佩平

山东大学晶体材料国家重点实验室,济南,250100;北京高能物理研究所同步辐射实验室,北京,100039

出版日期:2004-06-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(60025049);国家高技术研究发展计划(863计划)

Observation of Micropipes in 6H-SiC Monocrystalline by Synchrotron Radiation Monochromatic X-ray Topography

Online:2004-06-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用同步辐射单色光形貌术观察了6H-SiC单晶中的微管缺陷,发现晶片中Burgers矢量为1c的螺位错具有较高的密度.此外,还观察到对应较大Burgers矢量的微管.基于微管附近的应变场,并根据衍射几何,模拟计算了一系列具有不同Burgers矢量的微管在形貌像中的直径,计算结果与实验观察符合较好.

中图分类号:

O771
O782

胡小波;徐现刚;李现祥;董捷;韩荣江;王丽;李娟;王继扬;田玉莲;黄万霞;朱佩平. 同步辐射单色光形貌术观察6H-SiC单晶中的微管缺陷[J]. 人工晶体学报, 2004, 33(3): 332-334.

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同步辐射单色光形貌术观察6H-SiC单晶中的微管缺陷

Observation of Micropipes in 6H-SiC Monocrystalline by Synchrotron Radiation Monochromatic X-ray Topography

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