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人工晶体学报 ›› 2004, Vol. 33 ›› Issue (3): 448-454.

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论直拉单晶炉技术平台的逻辑演进

许扬;赵一谦;李剑侠;郑伟民;田炜;丁积军   

  1. 西安理工大学晶体生长设备研究所,西安,710048
  • 出版日期:2004-06-15 发布日期:2021-01-20

On the Logical Evolution of the Technical Platform in CZ-crystal Pullers

  • Online:2004-06-15 Published:2021-01-20

摘要: 要求不断增大晶棒直径、不断提高晶体质量的晶圆市场,推动我国直拉单晶炉产品系列出现过三代更替,与此对应,产品赖以存在的技术平台也经历了三个阶段的演进.第四代产品研发需要在以往技术积累基础上,在炉室材料、炉体结构、焊接工艺、机械传动和电气控制、计算机智能控制、磁场发生装置和热场材料等方面进行新一轮技术创新.

关键词: 单晶炉;晶体生长;产品研发;技术平台

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