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人工晶体学报 ›› 2004, Vol. 33 ›› Issue (5): 722-725.

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β-BBO薄膜的液相外延生长

刘军芳;周国清;何晓明;徐军   

  1. 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800
  • 出版日期:2004-10-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    国家自然科学基金(60308003)

Growth of Beta Barium Borate (β-BBO) Thin Films by Liquid Phase Epitaxy

  • Online:2004-10-15 Published:2021-01-20

摘要: 采用液相外延法在掺Sr2+的α-BBO(001)衬底上进行了生长β-BBO薄膜的实验,生长出表面光滑、无色透明的薄膜.应用X射线粉末衍射(XRD)、分光光谱仪和原子力显微镜(AFM)对外延膜进行了分析测试.结果表明,所制备的β-BBO薄膜择优取向为(001)面,在1μm×1μm的面积内,外延膜的表面粗糙度为2.279nm,其紫外吸收边同β-BBO单晶一样也为190nm,但外延膜的透过率略有下降.采用调Q脉冲Nd: YAG激光器观察了β-BBO外延膜的倍频效应.

关键词: 液相外延;β-BBO薄膜;Sr2+:α-BBO衬底

中图分类号: