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人工晶体学报 ›› 2004, Vol. 33 ›› Issue (5): 762-764.

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金属有机分解法制备无铅K0.5Bi0.5TiO3铁电薄膜

杨长红;王卓;韩建儒   

  1. 山东大学晶体材料国家重点实验室,济南,250100
  • 出版日期:2004-10-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    国家自然科学基金(50172031,60278036)

Preparation of Lead-free K0.5Bi0.5TiO3 Ferroelectric Thin Films by Metalorganic Decomposition Method

  • Online:2004-10-15 Published:2021-01-20

摘要: 采用金属有机分解法(MOD)在p型Si(111)衬底上制备了K0.5Bi0.5TiO3(KBT)薄膜.用X射线衍射技术研究了薄膜的结构和结晶性.同时还研究了薄膜的绝缘性和存储性能.结果发现在740°C下退火4min的KBT薄膜呈钙钛矿结构;在0~8V范围内,薄膜的漏电流小于1.5×10-9A;在-12~+8V的偏压范围内,C-V记忆窗口宽度为10V.

关键词: 金属有机分解法;KBT;铁电薄膜

中图分类号: