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人工晶体学报 ›› 2004, Vol. 33 ›› Issue (6): 1048-1051.

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硬质合金基体上钛过渡层碳化条件对金刚石薄膜附着力的影响

王传新;汪建华;满卫东;马志斌;王升高;傅朝坤;李克林;康志成   

  1. 武汉化工学院省微波等离子体化学与新材料重点实验室,武汉,430073;中国科学院等离子体物理研究所,合肥,230031;武汉化工学院省微波等离子体化学与新材料重点实验室,武汉,430073;自贡硬质合金有限公司,自贡,643011;中国科学院等离子体物理研究所,合肥,230031
  • 出版日期:2004-12-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    湖北省科技攻关项目(2002AA105A02)

Effect of the Carbonization Conditions on the Adhesion of Diamond Film on Cemented Carbide

  • Online:2004-12-15 Published:2021-01-20

摘要: 以WC-6;Co为基体,采用磁控溅射法,在酸蚀后进行氢等离子体脱碳试样上制备Ti过渡层,然后碳化过渡层为TiC.在电子辅助热丝化学气相沉积装置中制备金刚石薄膜.研究碳化条件对金刚石薄膜与基体附着力的影响.结果表明,在700℃左右的低温碳化,TiC结构致密,而在850℃左右的高温碳化,TiC呈疏松的多孔组织,在CH4-Ar等离子体中碳化则850℃左右仍能获得致密的TiC层.在致密的过渡层上沉积的金刚石薄膜具有更高的附着力.

关键词: 硬质合金;HFCVD;金刚石薄膜;Ti过渡层

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