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人工晶体学报 ›› 2004, Vol. 33 ›› Issue (6): 877-881.

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显微激光拉曼光谱法鉴别SiC晶体的多型体结构

韩荣江;王继扬;徐现刚;胡小波;董捷;李现祥;李娟;姜守振;王丽;蒋民华   

  1. 山东大学晶体材料国家重点实验室,济南,250100;青岛科技大学材料与环境科学学院,青岛,266042;山东大学晶体材料国家重点实验室,济南,250100
  • 出版日期:2004-12-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    国家高技术研究发展计划(863计划)(2001AA311080);国家自然科学基金(60025409)

Polytype Identification of SiC Crystals by Micro-Raman Spectroscopy

  • Online:2004-12-15 Published:2021-01-20

摘要: 利用显微激光拉曼光谱法对掺氮6H-SiC单晶中的寄生多型体进行了鉴别,结果表明其中有4H-SiC和15R-SiC两种寄生多型体.不同SiC多型体的纵光学声子与等离子体激元的耦合模(LOPC模)表明:在掺氮6H-SiC单晶的生长条件下,6H-SiC的掺氮效应与4H-SiC存在明显差别,而与15R-SiC的掺氮效应相似.

关键词: 显微激光拉曼光谱法;碳化硅单晶;多型体鉴别;掺氮效应

中图分类号: