温梯法白宝石晶体的表面形貌研究

人工晶体学报 ›› 2004, Vol. 33 ›› Issue (6): 882-886.

温梯法白宝石晶体的表面形貌研究

彭观良;周圣明;周国清;李抒智;王银珍;邹军;苏凤莲;刘世良;徐军

中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800

出版日期:2004-12-15 发布日期:2021-01-20

Study on Surface Morphology of Sapphire Crystal Grown by Temperature Gradient Technique(TGT)

Online:2004-12-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 本文采用导向温梯法(TGT)生长[0001]方向的白宝石晶体,利用气相传输平衡(VTE)技术对晶体表面进行处理,发现双面抛光的C面白宝石晶片高温下与富锂(Li2O蒸气)气氛发生反应,表面生成一层γ-LiAlO2,随着VTE反应温度从750℃下降到730℃,γ-LiAlO2晶核的颗粒也随着减小,在730℃时已在1μm以下,经稀盐酸(HCl)腐蚀后形成多孔的表面,此方法有望制备出用于外延GaN的多孔衬底.

中图分类号:

O771

彭观良;周圣明;周国清;李抒智;王银珍;邹军;苏凤莲;刘世良;徐军. 温梯法白宝石晶体的表面形貌研究[J]. 人工晶体学报, 2004, 33(6): 882-886.

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