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人工晶体学报 ›› 2005, Vol. 34 ›› Issue (1): 149-154.

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氮化铜薄膜的制备及其物理性能

岳光辉;闫鹏勋   

  1. 兰州大学等离子体与金属材料研究所,兰州,730000
  • 出版日期:2005-02-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    甘肃省自然科学基金(ZS021-A25-022-C)

Deposition of Copper Nitride Thin Film and Its Physical Properties

YUE Guang-hui;YAN Peng-xun   

  • Online:2005-02-15 Published:2021-01-20

摘要: 氮化铜薄膜的光学性能及其突出的低温热分解特性,使得它在信息存储方面有广阔的应用前景.本文概述了国际上制备多晶态氮化铜薄膜的研究进展及其物理性能,并对其应用前景进行展望.

关键词: 氮化铜薄膜;热稳定性;光记录

中图分类号: