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人工晶体学报 ›› 2005, Vol. 34 ›› Issue (3): 550-552.
董丽芳;尚勇;王志军
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RSS出版日期:2005-06-15
发布日期:2021-01-20
基金资助:DONG Li-fang;SHANG Yong;WANG Zhi-jun
Online:2005-06-15
Published:2021-01-20
摘要： 采用蒙特卡罗方法,对以CH4/H2混合气体为源气体的EACVD中的氢原子发射过程进行了模拟.研究了不同实验条件下产生的H、CH3的数目与氢原子谱线相对强度的关系,给出了一种利用氢原子谱线来获得最佳成膜实验条件的方法.本工作对于有效控制工艺条件,生长出高质量的金刚石薄膜具有重要意义.
中图分类号:
董丽芳;尚勇;王志军. 电子辅助热丝化学气相沉积金刚石薄膜中氢原子谱线与最佳成膜条件[J]. 人工晶体学报, 2005, 34(3): 550-552.
DONG Li-fang;SHANG Yong;WANG Zhi-jun. Atomic Hydrogen Emission Line and the Optimum Experimental Condition for Diamond Film Deposited by EACVD[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2005, 34(3): 550-552.
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