激光晶体炉上称重法自动直径控制(ADC)技术

人工晶体学报 ›› 2005, Vol. 34 ›› Issue (6): 1141-1145.

激光晶体炉上称重法自动直径控制(ADC)技术

董淑梅;李言;李留臣;王庆;楚波

西安理工大学晶体生长设备研究所,西安,710048;西安理工大学机械与精密仪器工程学院,西安,710048;西安理工大学机械与精密仪器工程学院,西安,710048;西安理工大学晶体生长设备研究所,西安,710048

出版日期:2005-12-15 发布日期:2021-01-20

Research on the Laser Crystal Growth Furnace's Up-weighing Method ADC Technique

DONG Shu-mei;LI Yan;LI Liu-chen;WANG Qing;CHU Bo

Online:2005-12-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 自动直径控制(ADC)技术是直拉法晶体生长设备的一项动直径控制方法,并从理论上分析了上称重法自动直径控制(ADC)原理,着重介绍了在传统TDL-J50A及TDL-J60激光晶体炉上自主开发的上称重法自动直径控制系统的机械结构及控制系统.使用上称重法自动直径控制系统已成功地生长出φ51～76mmYAG晶体及φ51～76mm铌酸锂晶体,取得了良好的控制效果.

中图分类号:

董淑梅;李言;李留臣;王庆;楚波. 激光晶体炉上称重法自动直径控制(ADC)技术[J]. 人工晶体学报, 2005, 34(6): 1141-1145.

DONG Shu-mei;LI Yan;LI Liu-chen;WANG Qing;CHU Bo. Research on the Laser Crystal Growth Furnace's Up-weighing Method ADC Technique[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2005, 34(6): 1141-1145.

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