用镀有钛过渡层的钼衬底制备无裂纹自支撑金刚石膜

人工晶体学报 ›› 2006, Vol. 35 ›› Issue (1): 164-169.

用镀有钛过渡层的钼衬底制备无裂纹自支撑金刚石膜

李浩;李成明;吕反修;唐伟忠;陈广超;鲍学进;刘政

北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083

出版日期:2006-02-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
中国科学院资助项目(50471090)

Deposition of Crack-free Freestanding Diamond Films on Mo Substrates with Ti Interlayer

LI Hao;LI Cheng-ming;LU Fan-xiu;TANG Wei-zhong;CHEN Guang-chao;BAO Xue-jin;LIU Zheng

Online:2006-02-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 为了解决金刚石膜脱膜开裂的问题,尝试了一种复合衬底,即镀有钛过渡层的钼衬底.利用直流等离子体喷射法在复合衬底上制备了不同厚度无裂纹的自支撑金刚石膜.用扫描电镜(SEM)、拉曼谱和X射线衍射表征金刚石膜的特征,并检测了其断裂强度.结果表明,用复合衬底制备的金刚石膜在950℃具有最小半高宽,在实验温度下所获得的金刚石自支撑膜的断裂强度均超过了500MPa.

中图分类号:

O484

李浩;李成明;吕反修;唐伟忠;陈广超;鲍学进;刘政. 用镀有钛过渡层的钼衬底制备无裂纹自支撑金刚石膜[J]. 人工晶体学报, 2006, 35(1): 164-169.

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