优化沉积参数对微晶硅薄膜太阳电池性能的影响

人工晶体学报 ›› 2006, Vol. 35 ›› Issue (1): 170-172.

优化沉积参数对微晶硅薄膜太阳电池性能的影响

张晓丹;赵颖;高艳涛;朱锋;魏长春;孙建;耿新华;熊绍珍

南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,天津,300071;南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,天津,300071;光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学,天津大学)天津,300071

出版日期:2006-02-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家重点基础研究发展计划(973计划)(G2000028202;G2000028203);天津市科技攻关项目(043186511);中国科学院资助项目(60506003)

Effect of Optimization of Deposition Parameters on the Performance of Microcrystalline Silicon Solar Cells

ZHANG Xiao-dan;ZHAO Ying;GAO Yan-tao;ZHU Feng;WEI Chang-chun;SUN Jian;GENG Xin-hua;XIONG Shao-zhen

Online:2006-02-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 本文主要采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术制备了不同硅烷浓度、辉光功率和反应气体流量的单结微晶硅薄膜太阳电池.电池的Ⅰ-Ⅴ测试结果表明:电池的开路电压随功率的降低、硅烷浓度和气体流量的增加而增加,而对应的短路电流密度在一定的硅烷浓度条件下达到最大,填充因子也在逐渐的增加.文中对具体内容进行了详细的分析.

中图分类号:

TK51

张晓丹;赵颖;高艳涛;朱锋;魏长春;孙建;耿新华;熊绍珍. 优化沉积参数对微晶硅薄膜太阳电池性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2006, 35(1): 170-172.

ZHANG Xiao-dan;ZHAO Ying;GAO Yan-tao;ZHU Feng;WEI Chang-chun;SUN Jian;GENG Xin-hua;XIONG Shao-zhen. Effect of Optimization of Deposition Parameters on the Performance of Microcrystalline Silicon Solar Cells[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2006, 35(1): 170-172.

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