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人工晶体学报 ›› 2006, Vol. 35 ›› Issue (2): 302-305.

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Al2O3衬底上生长ZnO薄膜的结构和光学特性

汪洪;苏凤莲;宋学平;刘艳美;李爱侠;周圣明;孙兆奇   

  1. 安徽大学物理与材料科学学院,安徽省信息材料与器件重点实验室,合肥,230039;中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800
  • 出版日期:2006-04-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    安徽省优秀青年科技基金(00047208);安徽省高校学术和技术带头人后备人选科研项目

Structural and Optical Properties of ZnO Films on Al2O3 Substrates

WANG Hong;SU Feng-lian;SONG Xue-ping;LIU Yan-mei;LI Ai-xia;ZHOU Sheng-ming;SUN Zhao-qi   

  • Online:2006-04-15 Published:2021-01-20

摘要: 用脉冲激光沉积法在Al2O3(0001)衬底上沉积了ZnO薄膜.衬底温度分别为300℃、400℃、500℃、600℃和700℃.利用X射线衍射(XRD)和光致发光谱(PL)对薄膜的结构和光学性能进行研究.X射线衍射的结果表明在不同温度下生长的ZnO薄膜均具有高度c轴择优取向,衬底温度400℃时,膜的应力较小质量较高.ZnO薄膜有很强的紫外发光峰,紫外发光峰的强度与衬底温度密切相关,并发现当衬底温度从300℃增到400℃时,紫外发射峰出现6nm的蓝移.

关键词: ZnO薄膜;脉冲激光沉积;X射线衍射;光致发光谱

中图分类号: