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人工晶体学报 ›› 2006, Vol. 35 ›› Issue (5): 1075-1079.

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多孔硅在太阳能电池应用中的相关研究

王海燕;卢景霄;吴芳;王子健;张宇翔;靳瑞敏;张丽伟   

  1. 郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室,郑州,450052
  • 出版日期:2006-10-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    国家高技术研究发展计划(863计划)(2002AA31110)

Correlative Study of Porous Silicon Using for Antireflection Coating of Solar Cells

WANG Hai-yan;LU Jing-xiao;WU Fang;WANG Zi-jian;ZHANG Yu-xian;JIN Rui-min;ZHANG Li-wei   

  • Online:2006-10-15 Published:2021-01-20

摘要: 本文用化学腐蚀法在多晶硅基片上制作多孔硅,通过SEM、XPS对多孔硅的表面微结构及其组成进行了研究,定性地分析了氧在多孔硅层中的作用及主要热行为.分析了多孔硅用于太阳能电池时应注意的问题:多孔层微孔尺寸、太阳电池工艺中各热处理过程的温度和时间、多孔层与电极材料是否形成欧姆接触及快速热氧化(RTO)的钝化效果.

关键词: 氧钝化;快速热处理(RTP);快速热氧化(RTO);减反膜

中图分类号: