摘要: 本文用化学腐蚀法在多晶硅基片上制作多孔硅,通过SEM、XPS对多孔硅的表面微结构及其组成进行了研究,定性地分析了氧在多孔硅层中的作用及主要热行为.分析了多孔硅用于太阳能电池时应注意的问题:多孔层微孔尺寸、太阳电池工艺中各热处理过程的温度和时间、多孔层与电极材料是否形成欧姆接触及快速热氧化(RTO)的钝化效果.
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王海燕;卢景霄;吴芳;王子健;张宇翔;靳瑞敏;张丽伟. 多孔硅在太阳能电池应用中的相关研究[J]. 人工晶体学报, 2006, 35(5): 1075-1079.
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