化学溶液分解法制备Sm0.5Bi3.5Ti3O12铁电薄膜

人工晶体学报 ›› 2006, Vol. 35 ›› Issue (6): 1265-1267.

化学溶液分解法制备Sm0.5Bi3.5Ti3O12铁电薄膜

杨冬梅;韩建儒;袁春雪;姜付义

山东大学晶体材料国家重点实验室,济南,250100

出版日期:2006-12-15 发布日期:2021-01-20

Study of Sm0.5Bi3.5Ti3O12 Ferroelectric Thin Films Prepared on Si by Chemical Solution Deposition

YANG Dong-mei;HAN Jian-ru;YUAN Chun-xue;JIANG Fu-yi

Online:2006-12-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用化学溶液分解法(CSD)在Si衬底上制备了Sm0.5Bi3.5Ti3O12 (SmBT0.5)薄膜.用X射线衍射技术分析了薄膜的结构和结晶性,用原子力显微镜描述了薄膜的表面形貌;并研究了薄膜的存储性以及介电性能.结果表明,在700℃下退火1h得到了结晶性较好,表面致密的多晶薄膜.该薄膜显示了良好铁电和介电性能.

中图分类号:

TB43

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