玻璃衬底上p型ZnO薄膜的制备

人工晶体学报 ›› 2006, Vol. 35 ›› Issue (6): 1332-1336.

玻璃衬底上p型ZnO薄膜的制备

范红兵;张晓丹;赵颖;孙建;魏长春;王锐;张存善

南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,天津,300071;光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,天津,300071;光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学,天津大学),天津,300071;河北工业大学信息学院,天津,300130;南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,天津,300071;光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,天津,300071;光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学,天津大学),天津,300071;河北工业大学信息学院,天津,300130

出版日期:2006-12-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
天津市自然科学基金(05YFJMTC01600);国家自然科学基金(60506003);中国-希腊作项目(05YFGHHZ01400);天津市科技攻关项目(043186511)

Deposition of N-Al Co-doping P-type ZnO by Ultrasonic Spray Pyrolysis

FAN Hong-bing;ZHANG Xiao-dan;ZHAO Ying;SUN Jian;WEI Chang-chun;WANG Rui;ZHANG Cun-shan

Online:2006-12-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 本文主要采用超声喷镀法在玻璃衬底上制备了N-Al共掺的p型ZnO薄膜.研究了前驱溶液的不同配比对薄膜电学、结构特性的影响.X射线衍射的结果显示:共掺与本征ZnO具有很相似的结晶特性.霍耳测试结果表明:随着Al原子掺入量的逐渐增加,制备ZnO的类型逐渐由n型转换成p型,进一步提高后又转换成n型,文中对其中的原因进行了讨论.在普通玻璃衬底上制备出了空穴浓度达到4.6×1018cm-3,同时迁移率和电阻率分别为0.4cm2·V-1·s -1、3.3Ω·cm的p型ZnO薄膜.

中图分类号:

O484

范红兵;张晓丹;赵颖;孙建;魏长春;王锐;张存善. 玻璃衬底上p型ZnO薄膜的制备[J]. 人工晶体学报, 2006, 35(6): 1332-1336.

FAN Hong-bing;ZHANG Xiao-dan;ZHAO Ying;SUN Jian;WEI Chang-chun;WANG Rui;ZHANG Cun-shan. Deposition of N-Al Co-doping P-type ZnO by Ultrasonic Spray Pyrolysis[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2006, 35(6): 1332-1336.

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