单晶MgO基片超精密加工技术研究

人工晶体学报 ›› 2006, Vol. 35 ›› Issue (6): 1372-1377.

单晶MgO基片超精密加工技术研究

董志刚;康仁科;金洙吉;王宁会

大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,大连,116024;大连理工大学静电与特种电源研究所,大连,116024

发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(50475149);教育部科学技术基金(105053);辽宁省科技计划(2004222001)

Application and Ultraprecision Machining Technology of MgO Single Crystal

DONG Zhi-gang;KANG Ren-ke;JIN Zhu-ji;WANG Ning-hui

Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 单晶MgO具有良好的物理化学性能及光学性能,是性能优异的薄膜基片及光学零件材料,广泛应用于高温超导、航空航天、光电技术等领域.用作薄膜生长的基片必须具有高精度超光滑无损伤的表面,而单晶MgO是典型的硬脆难加工材料,这对MgO晶体的超精密加工技术提出了很高的要求.本文介绍了单晶MgO的特性及其应用领域,针对高温超导薄膜制备对MgO基片的要求,讨论了现有的MgO基片加工工艺存在的问题,分析了几种可用于MgO基片超精密加工的先进工艺技术的特点和应用研究现状.

中图分类号:

O786

董志刚;康仁科;金洙吉;王宁会. 单晶MgO基片超精密加工技术研究[J]. 人工晶体学报, 2006, 35(6): 1372-1377.

DONG Zhi-gang;KANG Ren-ke;JIN Zhu-ji;WANG Ning-hui. Application and Ultraprecision Machining Technology of MgO Single Crystal[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2006, 35(6): 1372-1377.

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