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人工晶体学报 ›› 2006, Vol. 35 ›› Issue (6): 1378-1382.

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ZnSe多晶化学机械抛光研究

么艳平;张玉兰;李长江;刘景和   

  1. 吉林师范大学信息技术学院,四平136000;长春理工大学材料与化工学院,长春,130022;长春理工大学光学加工中心,长春,130022;长春理工大学材料与化工学院,长春,130022
  • 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    兵器工业总公司资助项目(GDZX2003)

Study on the Chemical Mechanical Polishing of ZnSe Polycrystal

YAO Yan-ping;ZHANG Yu-lan;LI Chang-jiang;LIU Jing-he   

  • Published:2021-01-20

摘要: 本文针对ZnSe多晶的性能,在试验的基础上,研究出一套实用的、行之有效的ZnSe多晶加工工艺,并重点讨论了化学机械抛光工艺.同时对加工后零件的工艺参数、表面质量及透过率的测试,结果表明所采用的化学机械加工法可取得非常好的抛光效果.

关键词: ZnSe多晶;化学机械抛光;工艺技术;性能测试

中图分类号: