用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池ZnO/Al背反射电极

人工晶体学报 ›› 2007, Vol. 36 ›› Issue (6): 1283-1287.

用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池ZnO/Al背反射电极

薛俊明;孙建;任慧志;刘云周;段苓伟;周祯华;张德坤;赵颖;耿新华

南开大学光电子薄膜器件与技术研究所;光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室;光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300071

出版日期:2007-12-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
天津市科技发展基金(06YFGZGX02100);国家重点基础研究发展计划(973计划)(2006CB202602;2006CB202603)

Study of ZnO/Al Back Reflector of Amorphous Silicon Solar Cells with DC-magnetron Sputtering

XUE Jun-ming;SUN Jian;REN Hui-zhi;LIU Yun-zhou;DUAN Ling-wei;ZHOU Zhen-hua;ZHANG De-kun;ZHAO Ying;GENG Xin-hua

Online:2007-12-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 本文首先在低温(140℃)和低功率下采用Zn:Al合金靶直流反应磁控溅射法研制ZnO:A1透明导电膜.然后在单结(glass/SnO2/pin/)或双结(glass/SnO2/pin/pin/)非晶硅电池上沉积约70～lOOnm厚的ZnO透明导电膜,最后再用电阻蒸发法沉积Al电极.实验获得了较好的n+/ZnO界面,实现了ZnO/Al背电极的增反作用,使电池的短路电流增加1～3mA/cm2,光电转化效率提高1～3;(绝对效率),小面积电池效率达到9.5;.

中图分类号:

O484

薛俊明;孙建;任慧志;刘云周;段苓伟;周祯华;张德坤;赵颖;耿新华. 用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池ZnO/Al背反射电极[J]. 人工晶体学报, 2007, 36(6): 1283-1287.

XUE Jun-ming;SUN Jian;REN Hui-zhi;LIU Yun-zhou;DUAN Ling-wei;ZHOU Zhen-hua;ZHANG De-kun;ZHAO Ying;GENG Xin-hua. Study of ZnO/Al Back Reflector of Amorphous Silicon Solar Cells with DC-magnetron Sputtering[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2007, 36(6): 1283-1287.

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