ZnO/SnO2复合透明导电膜性能的研究

人工晶体学报 ›› 2008, Vol. 37 ›› Issue (2): 417-421.

ZnO/SnO2复合透明导电膜性能的研究

高哲;卢景霄;陈庆东;刘玉芬;王子健;陈永生

郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室,郑州,450052

出版日期:2008-04-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家重点基础研究发展计划(973计划)(2006CB202601)

Study on Property of ZnO / SnO2 Transparent Conductive Films

GAO Zhe;LU Jing-xiao;CHEN Qing-dong;LIU Yu-fen;WANG Zi-jian;CHEN Yong-sheng

Online:2008-04-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用直流磁控溅射工艺在SnO:透明导电玻璃上沉积一层ZnO膜,制备出ZnO/SnO2复合透明导电膜,作为硅薄膜太阳电池前电极.比较了具有不同ZnO厚度的复合膜氢轰击前后的光电性能,发现适当控制ZnO膜的厚度至关重要.研究了快速热退火(RTA)对薄膜的结构及光电性能的影响,发现400℃退火能够改善薄膜的光学性能.

中图分类号:

O484

高哲;卢景霄;陈庆东;刘玉芬;王子健;陈永生. ZnO/SnO2复合透明导电膜性能的研究[J]. 人工晶体学报, 2008, 37(2): 417-421.

GAO Zhe;LU Jing-xiao;CHEN Qing-dong;LIU Yu-fen;WANG Zi-jian;CHEN Yong-sheng. Study on Property of ZnO / SnO2 Transparent Conductive Films[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2008, 37(2): 417-421.

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