微波等离子体同质外延修复金刚石的研究

人工晶体学报 ›› 2008, Vol. 37 ›› Issue (5): 1157-1161.

微波等离子体同质外延修复金刚石的研究

满卫东;谢鹏;吴宇琼;孙蕾;汪建华

武汉工程大学湖北省等离子体化学与薪材料重点实验室,武汉,430073;武汉工程大学绿色化工过程省部共建教育部重点实验室,湖北省新型反应器与绿色化学工艺重点实验室,武汉,430073;武汉工程大学绿色化工过程省部共建教育部重点实验室,湖北省新型反应器与绿色化学工艺重点实验室,武汉,430073;江汉大学化学与环境工程学院,武汉,430056

出版日期:2008-10-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队计划(2004);湖北省教育厅科研项目(Q20081505);湖北省新型反应器与绿色化学工艺重点实验室资助课题(RGGT200801)

Study of Homoepitaxy and Repairing Diamond by MPCVD

MAN Wei-dong;XIE Peng;WU Yu-qiong;SUN Lei;WANG Jian-hua

Online:2008-10-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 用微波等离子体化学气相沉积法同质外延生长了有缺陷的金刚石颗粒.在同质外延之前,研究了温度因素对金刚石生长表面形貌的影响,研究表明适宜金刚石同质外延的温度范围非常窄,在1030℃左右;温度低于920℃,大尺寸的金刚石单晶颗粒就很难得到,二次形核现象变的很严重.在实验得出的优化温度条件下,对表面有缺陷的天然金刚石进行了同质外延生长,用扫描电子显微镜(SEM)观察发现,原来金刚石表面的裂缝被修复,外延生长速率达到10.3μm/h.

中图分类号:

TQ163

满卫东;谢鹏;吴宇琼;孙蕾;汪建华. 微波等离子体同质外延修复金刚石的研究[J]. 人工晶体学报, 2008, 37(5): 1157-1161.

MAN Wei-dong;XIE Peng;WU Yu-qiong;SUN Lei;WANG Jian-hua. Study of Homoepitaxy and Repairing Diamond by MPCVD[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2008, 37(5): 1157-1161.

[1]	罗晓航, 许光宇, 李利军, 张永康, 张亚琛, 吴海平, 安康. 自支撑金刚石厚膜三方向三点弯曲断裂韧性对比研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(12): 2085-2093.
[2]	刘帅伟, 关春龙, 鲁云祥, 易剑, 江南, 西村一仁. 金刚石在富氧环境下的高效抛光及其材料去除机制研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(12): 2094-2103.
[3]	肖宏宇, 李勇, 田昌海, 张蔚曦, 王强, 肖政国, 王应, 金慧, 鲍志刚, 周振翔. Ib型金刚石单晶生长及合成腔体温度场分布研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(6): 959-966.
[4]	孙兴汉, 李纪虎, 张伟, 曾群锋, 张俊锋. 碳化硅化学机械抛光中材料去除非均匀性研究进展[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(4): 585-599.
[5]	张雅淋, 安晓明, 葛新岗, 姜龙, 李义锋. 大尺寸金刚石激光闪射法热导率测试研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(3): 503-510.
[6]	郝敬林, 邓丽芬, 王凯悦, 宋惠, 江南, 西村一仁. 高温高压合成掺杂金刚石研究进展[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(2): 194-209.
[7]	李国峰, 陈泓谕, 杭伟, 韩学峰, 袁巨龙, 皮孝东, 杨德仁, 王蓉. 碳化硅晶圆的表面/亚表面损伤研究进展[J]. 人工晶体学报, 2023, 52(11): 1907-1921.
[8]	胡婷婷, 牟恋希, 王鹏, 屠菊萍, 刘金龙, 陈良贤, 张建军, 欧阳晓平, 李成明. 高纯低位错密度单晶金刚石的制备与表征[J]. 人工晶体学报, 2023, 52(11): 1931-1938.
[9]	乔鹏飞, 刘康, 代兵, 刘本建, 张森, 张晓晖, 朱嘉琦. 终端金刚石能带结构与物理性能的研究进展[J]. 人工晶体学报, 2023, 52(6): 945-959.
[10]	简小刚, 张毅, 梁晓伟, 姚文山. 硫硒元素掺杂金刚石表面的生长位点研究[J]. 人工晶体学报, 2023, 52(6): 1120-1127.
[11]	吴锐文, 宋华平, 杨军伟, 屈红霞, 赖晓芳. 基于聚氨酯垫的4H-SiC单晶衬底研磨性质研究[J]. 人工晶体学报, 2023, 52(5): 759-765.
[12]	卢嘉铮, 张辉, 郑丽丽, 马远. 大尺寸碳化硅晶体生长热-质输运过程建模及数值仿真[J]. 人工晶体学报, 2023, 52(4): 550-561.
[13]	李斌, 胡秀飞, 杨旖秋, 王英楠, 谢雪健, 彭燕, 杨祥龙, 王希玮, 胡小波, 徐现刚, 冯志红. 单晶金刚石声子非简谐衰减效应研究[J]. 人工晶体学报, 2023, 52(3): 442-451.
[14]	贾元波, 满卫东, 伍正新, 梁凯, 林志东. 二氧化碳对同质外延生长单晶金刚石内应力的影响[J]. 人工晶体学报, 2023, 52(1): 34-40.
[15]	王宇, 顾鹏, 付君, 王鹏刚, 雷沛, 袁丽. PVT法生长4H-SiC晶体及多型夹杂缺陷研究进展[J]. 人工晶体学报, 2022, 51(12): 2137-2152.