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人工晶体学报 ›› 2008, Vol. 37 ›› Issue (6): 1349-1354.

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脉冲激光沉积BNT和KNN系陶瓷薄膜的比较研究

陆雷;肖定全;赁敦敏;张永彬;朱建国   

  1. 四川大学材料科学与工程学院,成都,610064;表面物理与化学国家重点实验室,绵阳,621907;四川大学材料科学与工程学院,成都,610064;四川大学材料科学与工程学院,成都,610064;香港理工大学应用物理系,九龙,香港;表面物理与化学国家重点实验室,绵阳,621907
  • 出版日期:2008-12-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    国家自然科学基金(50410179);国家自然科学基金(50572066;50772068)

Comparative Study of BNT and KNN Thin Films Deposited by PLD

LU Lei;XIAO Ding-quan;LIN Dun-min;ZHANG Yong-bin;ZHU Jian-guo   

  • Online:2008-12-15 Published:2021-01-20

摘要: 利用脉冲激光沉积技术(PLD),在不同的制备工艺条件下,分别在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备了Bi0.5Na0.5TiO3(BNT)系列的Bi0.5(Na0.7K0.2Li0.1)0.5TiO3(BNKLT)和K0.5Na0.5NbO3(KNN)系列的Li0.04(Na0.5K0.5)0.96(Nb0.775Ta0.225)O3(KNNLT)无铅压电陶瓷薄膜,并利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对薄膜的晶体结构及表面形貌进行了比较研究.研究结果表明:薄膜的衬底温度、沉积室的氧气压力和薄膜的热处理温度对BNT和KNN薄膜结构和形貌都有较大影响,且影响程度不同;在最佳制备工艺参数下,利用PLD制备的BNT和KNN无铅压电陶瓷薄膜都具有精细的表面结构.

关键词: 脉冲激光沉积;BNT;KNN;无铅压电薄膜

中图分类号: