硅太阳电池用MgF2/ZnS双层减反射薄膜的制备及表征

人工晶体学报 ›› 2009, Vol. 38 ›› Issue (3): 547-551.

硅太阳电池用MgF2/ZnS双层减反射薄膜的制备及表征

孙秀菊;李海玲;励旭东;任丙彦;周春兰;赵雷;王文静

中国科学院电工研究所,北京,100190;河北工业大学,天津,300130;中国科学院电工研究所,北京,100190;北京市太阳能研究所,北京,100083;河北工业大学,天津,300130

出版日期:2009-06-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家高技术研究发展计划(863计划)(2007AA05Z437)

Preparation and Characterization of MgF2/ZnS Double-layer Antireflection Films Applied in Silicon Solar Cells

SUN Xiu-ju;LI Hai-ling;LI Xu-dong;REN Bing-yan;ZHOU Chun-lan;ZHAO Lei;WANG Wen-jing

Online:2009-06-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用真空热蒸发技术,制备出了性能优良的MgF2/ZnS双层减反射薄膜.采用扫描电子显微镜、X射线衍射仪对薄膜的形貌以及结晶形态进行分析,采用椭圆偏振仪测试薄膜的折射系数及厚度,利用反射谱对双层减反射薄膜的减反射性能进行了表征.研究表明:衬底温度为200 ℃时薄膜附着力、结晶态良好;蒸发速率影响薄膜的表面形态;MgF2/ZnS厚度为110 nm/35 nm时具有最佳减反射效果.

中图分类号:

O484

孙秀菊;李海玲;励旭东;任丙彦;周春兰;赵雷;王文静. 硅太阳电池用MgF2/ZnS双层减反射薄膜的制备及表征[J]. 人工晶体学报, 2009, 38(3): 547-551.

SUN Xiu-ju;LI Hai-ling;LI Xu-dong;REN Bing-yan;ZHOU Chun-lan;ZHAO Lei;WANG Wen-jing. Preparation and Characterization of MgF2/ZnS Double-layer Antireflection Films Applied in Silicon Solar Cells[J]. JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS, 2009, 38(3): 547-551.

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