掺杂量对ZnO陶瓷靶材性能影响的研究

人工晶体学报 ›› 2009, Vol. 38 ›› Issue (3): 772-776.

掺杂量对ZnO陶瓷靶材性能影响的研究

赵静;刘丽杰;蔡宁;薛俊明;赵颖

天津新华职工大学,天津,300040;南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室,天津,300071

出版日期:2009-06-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
天津市重点基金(06YFJZJC01700);国家重点基础研究发展规划(973计划)(2006CB202602;2006CB202603)

Study on Effect of Doping Content on the Performance of ZnO Ceramic Target

ZHAO Jing;LIU Li-jie;CAI Ning;XUE Jun-ming;ZHAO Ying

Online:2009-06-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 以ZnO、Al2O3粉体为原料,采用常压烧结方法制备高导电性ZnO: Al陶瓷靶材,并系统研究了Al掺杂量对该靶材的晶体结构、微观形貌以及电学特性的影响.结果表明:Al2O3掺杂量是影响ZnO陶瓷靶材导电性的重要因素之一.随Al: Zn原子比从0: 100变化至8.0: 100,电阻率呈现先递减后递增的规律.当Al: Zn原子比为4.0: 100时,所制备的ZnO陶瓷靶材电阻率最低,为4.1×10-3 Ω·cm;当Al掺杂量超过某一数值后,将导致锌铝尖晶石相(ZnAl2O4)的生成,从而使材料的电阻率升高.为了获得高导电性能的ZnO靶材,必须精确控制Al的掺入量,以防止锌铝尖晶石的生成.

中图分类号:

TM615

赵静;刘丽杰;蔡宁;薛俊明;赵颖. 掺杂量对ZnO陶瓷靶材性能影响的研究[J]. 人工晶体学报, 2009, 38(3): 772-776.

ZHAO Jing;LIU Li-jie;CAI Ning;XUE Jun-ming;ZHAO Ying. Study on Effect of Doping Content on the Performance of ZnO Ceramic Target[J]. JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS, 2009, 38(3): 772-776.

[1]	贾艳飞. 正交实验法分析单晶PERC电池背钝化最优条件[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(9): 1636-1640.
[2]	庞恒强. 槽式湿法碱抛光技术在PERC太阳电池中的工艺研究[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(1): 178-184.
[3]	王营霞;龙翔宇;龙伟. 倒置平面结构(p-i-n型)钙钛矿太阳能电池研究进展[J]. 人工晶体学报, 2018, 47(7): 1500-1505.
[4]	陈名;张叶;任静琨. 基于掺杂二氧化硅包覆银纳米球的有机太阳能电池光吸收提高的研究[J]. 人工晶体学报, 2017, 46(2): 219-223.
[5]	张茹;朱俊;程凤敏;丁铁柱;高强强;李东东;刘晓玺. CuAlSe2光伏吸收层薄膜的制备[J]. 人工晶体学报, 2015, 44(11): 3210-3214.
[6]	张海涛;康爱国;杨北革;薛辉;郭小龙. 基于第一性原理的BaTiO3陶瓷临界尺寸的研究[J]. 人工晶体学报, 2013, 42(9): 1848-1852.
[7]	王赫;刘芳芳;孙云;何青;张毅;李长健. Cu(In,Ga)Se_2薄膜表面镓(Ga)含量分布对太阳电池性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2010, 39(1): 52-56.
[8]	刘芳芳;孙云;张力;李长健;乔在祥;何青;王赫. 多晶Cu(In,Ga)Se2薄膜太阳电池光强特性的研究[J]. 人工晶体学报, 2009, 38(3): 576-580.
[9]	刘芳芳;孙云;张力;何青;李长健. Cu(In,Ga)Se2薄膜太阳电池二极管特性的研究[J]. 人工晶体学报, 2009, 38(2): 455-459.
[10]	李微;孙云;何青;刘芳芳;李凤岩. 孪生对靶直流磁控溅射制备ZnO:Al薄膜及其特性研究[J]. 人工晶体学报, 2006, 35(4): 761-764.
[11]	李伟;孙云;刘伟;李凤岩;周琳. 镓(Ga)的含量及分布对CIGS薄膜电池量子效率的影响[J]. 人工晶体学报, 2006, 35(1): 131-134.