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人工晶体学报 ›› 2009, Vol. 38 ›› Issue (4): 870-875.
鲁萌萌;马学鸣;程文娟
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RSS出版日期:2009-08-15
发布日期:2021-01-20
基金资助:LU Meng-meng;MA Xue-ming;CHENG Wen-juan
Online:2009-08-15
Published:2021-01-20
摘要： 采用脉冲激光沉积技术制备出了Ag掺杂的ZnO薄膜.研究了Ag含量、衬底温度及氧压对ZnO结构和光学性能的影响.结果表明:Ag以替位形式存在于ZnO晶格中,Ag掺杂浓度较低时,样品具有高度c轴择优取向.衬底温度越高,薄膜的结晶质量越好,光学带隙越接近纯ZnO的带隙,而其紫外荧光峰在衬底温度为300 ℃时最强.氧压为10 Pa时,薄膜的结晶质量最好,紫外峰最强,其带隙则随氧压的增大呈先变窄后加宽的趋势.
中图分类号:
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LU Meng-meng;MA Xue-ming;CHENG Wen-juan. Structure and Optical Properties of Ag Doped ZnO Thin Films[J]. JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS, 2009, 38(4): 870-875.
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