MgO(100)衬底上生长BaTi2O5薄膜及其性能研究

人工晶体学报 ›› 2009, Vol. 38 ›› Issue (4): 920-923.

MgO(100)衬底上生长BaTi2O5薄膜及其性能研究

李凌;王传彬;王芳;沈强;张联盟

武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室,武汉,430070

出版日期:2009-08-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(50802071);湖北省自然科学基金(2008CDB248);武汉市青年科技晨光计划项目(200850731386)

Study on Growth and Properties of BaTi2O5 Thin Films Deposited on MgO (100) Substrates

LI Ling;WANG Chuan-bin;WANG Fang;SHEN Qiang;ZHANG Lian-meng

Online:2009-08-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 利用脉冲激光沉积技术,在MgO(100)衬底上生长了BaTi2O5薄膜,探讨了沉积条件(衬底温度和氧分压)对薄膜结构的影响,并对其介电和光学性能进行了研究.结果表明:随衬底温度和氧分压的改变,BaTi2O5薄膜的物相和结晶取向逐渐变化;适宜的脉冲激光沉积工艺为衬底温度950~1000 K、氧分压12.5 Pa,在该条件下获得了b轴方向择优生长的BaTi2O5薄膜;该薄膜具有较高的居里温度(750 K),介电常数达2000,而且在可见光和红外波长范围内具有较高的透过率.

中图分类号:

TB43

李凌;王传彬;王芳;沈强;张联盟. MgO(100)衬底上生长BaTi2O5薄膜及其性能研究[J]. 人工晶体学报, 2009, 38(4): 920-923.

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