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人工晶体学报 ›› 2010, Vol. 39 ›› Issue (1): 169-173.
袁玉珍;王辉;张化福;刘汉法;刘云燕
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RSS出版日期:2010-02-15
发布日期:2021-01-20
基金资助:
Online:2010-02-15
Published:2021-01-20
摘要： 采用直流磁控溅射法在玻璃衬底上制备出Zr,Al共掺杂ZnO(AZZO)透明导电薄膜.用XRD和SEM分析和观察了薄膜样品的组织结构和表面形貌.研究表明:制备的AZZO透明导电薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有c轴择优取向.另外还研究了薄膜的结构、光学和电学性质随薄膜厚度的变化关系.当薄膜厚度为843 nm时,电阻率具有最小值1.18×10~(-3) Ω·cm,在可见光区(500～800 nm)平均透过率超过93;.
中图分类号:
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